GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法 现行
作者：百检网 时间：2021-07-21
中文标准名称：碳化硅单晶片直径测试方法
英文标准名称：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2014/7/24 12:00:00
实施日期：2015/2/1 12:00:00
中国标准分类号：中国电子技术标准化研究院
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：周智慧
相近标准：20091221-T-469 碳化硅单晶片直径测试方法;20120289-T-469 碳化硅单晶片平整度测试方法;GB/T
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