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SKGL-1200-Ⅱ CVD管式炉检测

作者:荀彧 时间:2022-12-05 来源:互联网

CVD管式炉由开启式管式炉、高真空分子泵系统、射频电源系统及多通道高精度数字质量流量控制系统组成,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择。其原理在于在真空压力下,加在电感线圈的射频电场,使反应室气体发生辉光放电,在辉光发电区域产生大量的电子,这些电子在电场的作用下获得充足的能量,其本身温度很高,它与气体分子相碰撞,使气体分子活化。它们吸附在衬底上,并发生化学反应生成介质膜,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走,称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)。CVD管式炉用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。

主要功能和特点:1、内置两个温区,可以营造300℃内不同的温度梯度;2、双温区控制系统采用PID方式控制,控温仪表中可以设置30段升降温程序,每个温区可以单独控温;3、采用KF快速法兰密封,只需要一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能;减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能;4、炉盖可打开,可以实时观察烧结的物料状况,并能迅速降温,满足材料骤冷骤热的实验需要;5、炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显优于国内纤维材料;6、加热元件采用内嵌式高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2,经久耐用,zui高温度可达1200℃。7、预留了真空、气路快速接口,可配合我司真空系统、混气系统使用;8、预留了485转换接口,可通过我司软件,与计算机互联,可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;可安装无纸记录装置,实现数据的存储、输出。9、上盖开启自动断电,超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠。


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