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GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法 现行

作者:百检网 时间:2021-05-26

标准号:GB/T 32281-2015
中文标准名称:太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
英文标准名称:Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
标准状态:现行,发布于2015-12-10; 实施于2017-01-01; 废止
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
发布日期:2015-12-10
实施日期:2017-01-01
中国标准分类号:77.040.30
国际标准分类号:77.040.30
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司;中铝宁夏能源集团有限公司;洛阳鸿泰半导体有限公司;北京合能阳光新能源技术有限公司;宁夏银星多晶硅有限责任公司;新特能源股份有限公司
相近标准:20120288-T-469 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法; 太阳能级硅片切割用喷砂玻璃; 太阳能级硅片切割用环氧树脂胶; DB13/T 1314-2010 太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片; GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法; 20141879-T-469 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法; GB/T 25074-2017 太阳能级多晶硅; GB/T 25074-2010 太阳能级多晶硅; 20080034-T-469 太阳能级多晶硅; 20141898-T-469 太阳能级多晶硅

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