GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法现行

作者：百检网时间：2021-05-26

标准号：GB/T 32189-2015
中文标准名称：氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
英文标准名称：Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
标准状态：现行,发布于2015-12-10; 实施于2016-11-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
中国标准分类号：77.040
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;苏州纳维科技有限公司
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