GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅 现行
作者：百检网 时间：2021-05-26
中文标准名称：硅外延用三氯氢硅
英文标准名称：Trichlorosilane for silicon epitaxial
标准状态：现行,发布于2014-12-31; 实施于2015-09-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中锗科技有限公司;南京中锗科技股份有限公司;南京国盛电子有限公司
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