GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 现行
作者：百检网 时间：2021-05-26
中文标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文标准名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态：现行,发布于2014-09-30; 实施于2015-04-15; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2014-09-30
实施日期：2015-04-15
中国标准分类号：17.040.20
国际标准分类号：17.040.20
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
起草单位：上海交通大学;纳米技术及应用国家工程研究中心
相近标准：20078478-T-491 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法; GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法; 20120267-T-469 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法; 表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序; 确定环境温湿度对原子力显微镜尺寸测量影响的导则; 20140894-T-491 纳米技术 氧化石墨烯厚度测量 原子力显微镜法; EJ/T 20176-2018 金刚石刀具刃口锋利度的原子力显微镜测量方法; GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法; 20091793-T-491 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法; GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
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