GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法 现行
作者：百检网 时间：2021-05-26
中文标准名称：硅片厚度和总厚度变化测试方法
英文标准名称：Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京有研半导体材料股份有限公司
全部替代标准：GB/T 6618-1995
相近标准：GB/T 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法; 20065630-T-469 硅片厚度和总厚度变化测试方法; GB/T 30869-2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法; 20111477-T-469 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法; GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法; 20110054-T-469 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法; GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法; 20080033-T-469 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法; GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法; 20091225-T-469 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
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