GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法现行

作者：百检网时间：2021-05-26

标准号：GB/T 1558-2009
中文标准名称：硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
英文标准名称：Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;峨嵋半导体材料厂;中国电子科技集团公司第四十六研究所
全部替代标准：GB/T 1558-1997
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1391-0704。
采标中文名称:硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。
相近标准：GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法; 20065634-T-469 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法; SJ/T 10625-1995 锗单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法; GB/T 14143-1993 300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法; GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法; GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法; 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法; 20060512-T-610 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法; 20151786-T-469 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法; GB/T 1557-1989 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

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