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GB/T 36176-2018 真空技术 氦质谱真空检漏方法

作者:百检网 时间:2021-07-13

标准号:GB/T 36176-2018
中文标准名称:真空技术 氦质谱真空检漏方法
英文标准名称:Vacuum technology.Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer
标准类型:J78
发布日期:2018/5/14 12:00:00
实施日期:2018/12/1 12:00:00
中国标准分类号:J78
国际标准分类号:23.160
引用标准:GB/T 3163;GB/T 4844;GB/T 9445;GB/T 12604.7;GB/T 13979
适用范围:本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求,三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。

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