GB/T 16942-2009 电子工业用气体.氢
作者：百检网 时间：2021-07-13
中文标准名称：电子工业用气体.氢
英文标准名称：Gas for electronic industry.Hydrogen
标准类型：G86
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190-2009;GB/T 3634.1-2006;GB/T 3723-1999;GB 4962-2008;GB 5099-1994;GB/T 6285-2003;GB 7144-1999;GB/T 8984-2008;GB 14194-2006;气瓶安全监察规程;压力容器安全技术监察规程;压力管道安全管理与监察规定
适用范围：本标准规定了电子工业用氢技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
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