GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定 现行
作者：百检网 时间：2021-07-15
中文标准名称：表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
英文标准名称：Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准状态：现行
发布日期：2014-03-27
实施日期：2014-12-01
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
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