GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法现行

作者：百检网时间：2021-07-19

标准号：GB/T 37049-2018
中文标准名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2018/12/28 12:00:00
实施日期：2019/4/1 12:00:00
中国标准分类号：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司
国际标准分类号：77.040.30
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司
起草人：鲁文锋
相近标准：20141873-T-469 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法; 多晶硅表面金属杂质含量测定

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