标准号:JISC5630-2-2009
中文标准名称:半导体器件微电机器件第2部分:薄膜材料的拉伸测试方法
英文标准名称:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part2:Tensiletestingmethodofthinfilmmaterials
中国标准分类号:L40
L04
国际标准分类号:31.080.01
31.080.99
31.220.01
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