标准号:GB/T 26068-2018
中文标准名称:硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
英文标准名称:Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2018/12/28 12:00:00
实施日期:2019/11/1 12:00:00
中国标准分类号:瑟米莱伯贸易(上海)有限公司
国际标准分类号:77.040
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:有研半导体材料有限公司
起草人:曹孜
相近标准:
;GB/T 26068-2010
;20151792-T-469 硅片和硅锭载流子复合
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