GB/T 22571-2008 表面化学分析.X射线光电子能谱仪.能量标尺的校准
作者：百检网 时间：2021-07-31
中文标准名称：表面化学分析.X射线光电子能谱仪.能量标尺的校准
英文标准名称：Surface chemical analysis.X-ray photoelectron spectrometers.Calibration of energy scales
标准类型：G04
发布日期：2008/12/11 12:00:00
实施日期：2009/10/1 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
适用范围：本标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线电子能谱仪结合能标尺的方法，该谱仪使用非单色化Al或MgX射线或单色化AlX射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法，用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95%置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献，但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用于有下述情况的仪器：结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10、谱仪的分辨率差于1.5eV或者要求公差*限为±0.03eV或更小。本标准不提供全标尺校准检验，该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证，必须按仪器制造商的推荐程序进行。
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