标准号:DIN EN 62047-11-2014
中文标准名称:DIN EN 62047-11-2014 半导体器件. 微型机电装置. 第11部分:微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法 (IEC 62047-11-2013); 德文版本EN 62047-11-2013
英文标准名称:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013); German version EN 62047-11:2013
发布日期:2014-04
实施日期:2014-04-01
中国标准分类号:L40
国际标准分类号:31.080.01;31.220.01
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