作者:百检网 时间:2021-09-15 来源:互联网
溅射靶材检测去哪里做?溅射是制备薄膜材料的主要技术之一百检网检测中心可对各类溅射靶材检测。
高纯金属溅射靶材,高纯度合金溅射靶材,氧化物(O)陶瓷溅射靶材,氮化物(N)陶瓷溅射靶,碳化物(C)陶瓷溅射靶,氟化物(F)陶瓷溅射靶,硅化物(Si)陶瓷溅射靶,硫化物(S)陶瓷溅射靶,硼化物(B)陶瓷溅射靶;硒化物(Se)陶瓷溅射靶,碲化物(Te)陶瓷溅射靶,锑化物陶瓷溅射靶。
尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制;表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒
ASTM F1709-1997(2008)电子薄膜用高纯度钛溅射靶材的规格
GB/T 29658-2013电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
T/ZZB 0093-2016集成电路用高纯钛溅射靶材
T/ZZB 0639-2018氧化锌铝磁控溅射靶材
YS/T 718-2009平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶
YS/T 719-2009平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶
YS/T 819-2012电子薄膜用高纯铜溅射靶材
YS/T 837-2012溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T 893-2013电子薄膜用高纯钛溅射靶材
YS/T 935-2013电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
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