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四源金属蒸镀腔-手套箱系统

作者:百检网 时间:2021-11-11 来源:互联网

主要规格及技术指标

l.1、*限真空(空载 ):≤5×10^-5Pa 1.2、工作真空:≤5×10^-4Pa(充入干燥纯氮气条件下 ,分子泵正常工作30分钟内达到) 1.3、真空室体结构:于前、后两面均设置大口径型活动密封门。使之具备和手套箱贯通,也可独立密封实施薄膜沉积的双重结构条件

主要功能及特色

主要包括手套箱系统和热蒸发镀膜系统,主要沉积金属薄膜,两个系统可以独立使用,也可以联合使用

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客户案例展示

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  • 浙江圣达生物药业股份有限公司
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  • 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
  • 上海嘉叠贸易有限公司
  • 上海纽特丝纺织品有限公司
  • 无锡露米娅纺织有限公司
  • 东方电气风电(凉山)有限公司
  • 宁波图米文具用品有限公司
  • 江苏力之创特种装备制造有限公司

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