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蒸发镀膜机

作者:百检网 时间:2021-11-11 来源:互联网

  • 详细信息

    主要技术指标:

    1. 包含热阻式蒸发和电子束蒸发功能 2. *限真空≤6×10-5Pa;腔室从大气开始抽气,在≤40分钟内,其真空度≤6×10-4Pa;采用一台复合真空计测量真空度。 3. 镀膜过程中,衬底温度≤80℃ 4. Ø4英寸样品镀膜均匀度≤±5% 5. 全部操控均为电控并配置相应的互锁机构 6. 蒸发源与衬底间距260mm±40mm,精确可调 7. 样品转盘上可携挂1片4寸样片及其它小于4寸的小样片 8. 电子枪1套,其主要技术参数:一台6KW 电子枪;电子束偏转角270º;阳*电压有6KV和8KV两挡,面板切换;束流在0-750mA范围内可调;偏转电源:X方向扫描频率0-20Hz可调,Y方向扫描频率0-20Hz可调; 启动真空度:6.7×10-3Pa;枪电源高压灭弧自动复位。 9. 坩埚为四穴水冷铜坩埚,每个坩埚的尺寸为:20ml。可以电动换位。

    主要功能:

    多项蒸发镀膜技术的交叉结合,可以实现多种材料的高性能薄膜沉积。

  • 服务信息

    服务内容:

    种材料的高性能薄膜沉积

    收费标准:

    600元/小时+300元/次工艺+材料费

    用户须知:

    参考学校共享相关规定

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    客户案例展示

    • 上海朗波王服饰有限公司
    • 浙江圣达生物药业股份有限公司
    • 天津市长庆电子科技有限公司
    • 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
    • 上海嘉叠贸易有限公司
    • 上海纽特丝纺织品有限公司
    • 无锡露米娅纺织有限公司
    • 东方电气风电(凉山)有限公司
    • 宁波图米文具用品有限公司
    • 江苏力之创特种装备制造有限公司

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