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表面缺陷测量仪

作者:百检网 时间:2021-11-11 来源:互联网

主要技术指标

衬底直径 标准卡盘可用于直径从2英寸到200mm的晶圆。衬底厚度 350μm---1100μm 衬底材料 任何对入射光的散射≤10%的不透明的抛光表面 任何对入射光的散射≤10%的光洁或者不透明的衬底缺陷敏感度 0.08μm直径的PSL等效球体上的捕获率≥95%(在裸硅上的PSL)其他缺陷和应用程序 微粒,刮痕,污点,凹坑,凸起。分类的精度和*小检测尺寸决定于缺陷的光学信号。敏感度:自动缺陷分类的*小检测尺寸: 1.??刮痕:100μm长,0.1μm宽,5nm深 2.? 凹点:20μm直径,5nm深 3.?? 污点:20μm直径,1nm厚 NOTE:缺陷信号必须比背景P-V信号的3倍要高表面形貌(裸衬底上) >0.2nm Ra 参数 Ra, Rq, Wa, Wq "薄膜厚度一致性(single layer only sensitivity)" 0.1nm<氧化层<100nm 可重复性 CV≤5.0%(3.0%的typical/mean为2000,0.08μm的乳胶球 CV=变化率系数,σ/μ

主要功能/应用范围

材料表面缺陷测量,主要用于半导体晶片材料、蓝宝石衬底片检测

服务内容

晶片表面缺陷检测分析

服务的典型成果

对外开放共享规定

参考收费标准

协商

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客户案例展示

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  • 浙江圣达生物药业股份有限公司
  • 天津市长庆电子科技有限公司
  • 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
  • 上海嘉叠贸易有限公司
  • 上海纽特丝纺织品有限公司
  • 无锡露米娅纺织有限公司
  • 东方电气风电(凉山)有限公司
  • 宁波图米文具用品有限公司
  • 江苏力之创特种装备制造有限公司

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