准分子激光器

作者：百检网时间：2021-11-11 来源：互联网

服务领域：材料, 技术指标： 1.磁性开关控制（MSC）保护； 2.激光脉冲能量*高400mJ 3.*大重复频率：4W； 4.系统*限真空：6.67×10-6Pa； 5.样品加热温度：800℃； 6.转速：5～60转/min； 7.样品到靶台距离可调范围：30～100mm。生产厂商：德国 Lambda Physik 公司仪器国别：启用时间： 2005-06-01 仪器认证：无安放地点：湖北大学物电大楼212# 主要用途：研究,教育主要附件及功能： 1、电离电源：是工作气体电离； 2、靶位、样品转动控制电源：是成膜均匀； 3、烘烤照明：可对溅射室烘烤至150℃。

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