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GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

作者:百检网 时间:2022-10-19

标准简介

本规范规定若干种标准测试图形,用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。
英文名称:Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
标准状态:现行
中标分类:电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类:电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门:国家技术监督局
发布日期:1997-06-20
实施日期:1998-03-01
出版日期:2004-04-11
页数:平装16开, 页数:14, 字数:24千字

前言

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客户案例展示

  • 上海朗波王服饰有限公司
  • 浙江圣达生物药业股份有限公司
  • 天津市长庆电子科技有限公司
  • 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
  • 上海嘉叠贸易有限公司
  • 上海纽特丝纺织品有限公司
  • 无锡露米娅纺织有限公司
  • 东方电气风电(凉山)有限公司
  • 宁波图米文具用品有限公司
  • 江苏力之创特种装备制造有限公司

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