电子级用水检测

　　1、 范围

　　GB/T 1152 0173 3840.1-2013 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。

　　本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。

　　2、水质标准

　　项目

　　技术指标

　　EW-Ⅰ

　　EW-Ⅱ

　　EW-Ⅲ

　　EW-Ⅳ

　　电阻率(25℃)/

　　MΩ·cm

　　≥18

　　(5%时间不低于17)

　　≥15

　　(5%时间不低于13)

　　≥12

　　≥0.5

　　全硅/(μg/L)

　　≤2

　　≤10

　　≤50

　　≤1000

　　微粒数/

　　(个/L)

　　0.05μm~0.1μm

　　500

　　-

　　-

　　-

　　0.1μm~0.2μm

　　300

　　-

　　-

　　-

　　0.2μm~0.3μm

　　50

　　-

　　-

　　-

　　0.3μm~0.5μm

　　20

　　-

　　-

　　-

　　>0.5μm

　　4

　　-

　　-

　　-

　　细菌个数/(个/mL)

　　≤0.01

　　≤0.1

　　≤10

　　≤100

　　铜/(μg/L)

　　≤0.2

　　≤1

　　≤2

　　≤500

　　锌/(μg/L)

　　≤0.2

　　≤1

　　≤5

　　≤500

　　镍/(μg/L)

　　≤0.1

　　≤1

　　≤2

　　≤500

　　钠/(μg/L)

　　≤0.5

　　≤2

　　≤5

　　≤1000

　　钾/(μg/L)

　　≤0.5

　　≤2

　　≤5

　　≤500

　　铁/(μg/L)

　　≤0.1

　　-

　　-

　　-

　　铅/(μg/L)

　　≤0.1

　　-

　　-

　　-

　　氟/(μg/L)

　　≤1

　　-

　　-

　　-

　　氯/(μg/L)

　　≤1

　　≤1

　　≤10

　　≤1000

　　亚硝酸根/(μg/L)

　　≤1

　　-

　　-

　　-

　　溴/(μg/L)

　　≤1

　　-

　　-

　　-

　　硝酸根/(μg/L)

　　≤1

　　≤1

　　≤5

　　≤500

　　磷酸根/(μg/L)

　　≤1

　　≤1

　　≤5

　　≤500

　　3、水质检验

　　1电阻率

　　电子级水的电阻率按GB/T 1152 0173 3840.4-013进行测定。

　　2全硅含量(以二氧化硅计)

　　电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按GB/T 1152 0173 3840.6-2013进行测定。

　　3微粒数

　　电子级水中微粒数按GB/T 1152 0173 3840.9-2013进行测定。

　　4细菌总数

　　电子级水中细菌总数按GB/T 1152 0173 3840.10-2013进行测定。

　　5痕量金属含量

　　电子级水中痕量金属的含量按GB/T 1152 0173 3840.5-2013进行测定。

　　6氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

　　电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按GB/T 1152 0173 3840.7-2013进行测定。

　　7总有机碳含量

　　电子级水中总有机碳含量按GB/T 1152 0173 3840.8-2013进行测定。

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