洁净间噪音检测

　　国内对于噪声对于健康影响的研究表明，低于80dB(A)的一般工业噪声对健康的影响不太大。

　　国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代制定的美国联邦标准209a和1974修订的209b规定：“洁净室的噪声控制在可能进行必要的通话，满足操作或产品的要求，并使人员保持在舒适和安全的范围内”。在ISO/DIS14644-4标准(草案)中规定：“应根据洁净室内人的舒适和安全要求及环境(如其它设备)的背压级来选择适宜的声压级。洁净室的声压级范围为40-65dB(A)”。

　　从搜集的国内外洁净室的噪声标准来看，有以下几个特点：洁净室的噪声标准一般均严于保护健康的标准。在洁净室的环境下，噪声条件主要在于保障正常操作运行，满足必要的谈话联系，提供舒适的工作环境。

　　绝大多数标准给出的允许值在65-70dB(A)范围，医疗行业更低。现行的大多数标准均以A声级作为评价指标，也有少数标准对于各频带声压级提出限制。少数标准按不同的空气洁净度等级分别给出噪声容许值，而大多数标准对不同的空气洁净度等级洁净室提出一个统一的容许值。

　　对国内几个行业不同气流流型洁净室的静态和动态噪声所进行的分析表明，不同气流流型的静态噪声有较大的差异。

　　非单向流洁净室的静态噪声实测值在41-64 dB(A)，平均为54 dB(A);

　　单向流、混合流洁净室的静态噪声实测值在51-75 dB(A)，平均为65 dB(A)。

　　非单向流洁净室较之单向流洁净室的静态噪声平均值约低11 dB(A)。

　　非单向流洁净室和单向流、混合流洁净室静态噪声的差异与其送风量(或换气次数)和净化空调系统的特征有关。

　　控制设备噪声**应从声源上着手，设计时应选用低噪声设备。在某些情况下，由于技术或经济的原因而难于做到时，则应从噪声传播途径上来采取降噪措施。例如，把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。必须置于洁净室内的高噪声设备，亦可采用隔声罩隔绝噪声。国内有些洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间，或技术夹道或服务区内，洁净室噪声有明显的降低。

　　洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声，静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的合理布置及合理的降噪措施。

　　关于降低洁净室净化空调系统噪声的措施，国内外有关资料提出一些有效措施：

　　《现代洁净室概念》一文中强调“选择那种能满足气流要求的噪声*低的风机，还应该采用弹性减振基础”。关于消声器的使用，文中说：“管道消声器在高频和中频范围内降低噪声是有效的，当风管敷设长度在15m内时，就应考虑采用消声器”。关于风管的连接，文中说：“通风机和送风管道与回风管道之间，应采用柔性连接管隔开”。还要求“将通风机外壳、静压箱和管道加上衬里”。对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施，洁净室噪声可以大幅度地降低。

　　排风系统噪声对洁净室影响*大。以集成电路生产为例，在生产过程中，外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需要设排风系统。近年来，对于洁净厂房排风系统噪声治理日益受到重视，注意选用低噪声风机等。

　　洁净室的密封性能比较好，噪声不易衰减，由于洁净室内的工作环境要求比较安静，按规定减少风管风速，既减少了净化空调系统的阻力，降低了风机压头和转速，减弱了风机噪声，又防止了风速过大而产生的附加噪声。

　　洁净厂房设计规范里的噪音控制标准：

　　4.4噪声控制

　　4.4.1 洁净室内的噪声级(空态)，非单向流洁净室不应大于60dB(A)，单向流、混合流洁净室不应大于65 dB(A)。

　　4.4.3 洁净厂房的平、剖面设计应考虑控制要求。洁净室的维护结构应具有良好的隔声性能，并使各部分隔声量相接近。

　　4.4.4 洁净室内的各种设备应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。

　　4.4.5 净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。洁净室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计。

　　4.4.6 净化空调系统，根据室内容许噪声级要求，风管内风速宜按下列规定选用总风管： 6-10m/s;

　　无送、回风口的支风管为4-6m/s;

　　有送、回风口的支风管为2-5m/s。

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