X射线光电子能谱(XPS)分析
传统XPS分析可以给出固体表面元素组成及其化学态(即原子价态或化学环境)和元素的相对含量的信息。现代XPS分析技术还能提供元素及其化学态在表面横向及纵向(深度)分布的信息, 即XPS线扫描和深度剖析,表面元素及其化学态的空间分布和浓度分布(即成像XPS)。
检测内容
1、XPS全谱和窄扫分析;
2、XPS深度剖析(Ar单离子或团簇);
3、XPS线扫、面扫分析;
4、XPS成像(选区和成像扫描);
5、UPS测试(价带谱、功函数)。
检测标准
产品名称检测项目检测标准
固体材料XPS分析XPS分析
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