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透射电镜测试

1. 设备型号
　　TF20 场发射透射电镜，配备能谱仪
　　2.原理
　　透射电子显微镜（Transmission electron microscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来。
　　3. 仪器参数
　　加速电压
　　200KV
　　高分辨*靴(S-TWIN)
　　点分辨率
　　0.24nm
　　线分辨率
　　0.14nm
　　STEM(HAADF)分辨率
　　0.19nm
　　电子束能量色散
　　<0.7eV
　　*大束流
　　>100nA
　　1nm束斑*大束流
　　>0.5nA
　　样品*大倾斜角
　　±40°
　　EELS(Gatan Enfina)能量分辨率
　　0.7eV
　　EDAX能谱仪 (EDS)
　　5B~92U
　　能量分辨率
　　~152 0173 3840eV（Mn KL线）
　　4. 设备功能及应用范围
　　主要用于无机材料微结构与微区组成的分析和研究，仪器的功能包括：
　　（1）电子衍射：选区衍射、微束衍射、会聚束衍射；
　　（2）成像：衍衬像（明、暗场像）、高分辨像 (HREM)、扫描透射像（明场像、环状暗场像、Z-衬度像）；
　　（3）微区成分：EELS和EDS能谱的点、线和面分析；
　　应用范围：
　　（1）材料范围：除磁性材料之外的任何无机材料，包括粉体、薄膜和块材；不适用于有机和生物材料。
　　（2）表征范围：微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。
　　5. 送样需知
　　5.1粉末样品基本要求
　　（1）单颗粉末尺寸*好小于1μm；
　　（2）无磁性；
　　（3）以无机成分为主，否则会造成电镜严重的污染，高压跳掉，甚至击坏高压枪；
　　5.2块状样品基本要求
　　（1）需要电解减薄或离子减薄，获得几十纳米的薄区才能观察；
　　（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等机械方法制成粉末来观察；
　　（3）无磁性；
　　6. 案例分析
　　（1）FIB+HRTEM+EDS 半导体薄膜领域
　　（2）FIB+TEM+EDS 半导体LED领域
　　（3）磨抛+离子减薄+HRTEM 量子阱领域
　　（4）FIB+HRTEM+EELS 纳米线截面观察及能谱分析

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