外延片检测去哪里做?外延片是指用外延工艺在衬底表面生长薄膜所生片的单晶硅片,主要由 P 型, 量子阱, 型三个部分构成。
LED外延片,半导体外延片,晶圆外延片,砷化镓外延片等。
主要参数包括工作电压,光强,波长范围,半峰宽,色温,显色指数等 等,这些数据可以用积分球测试.
主要参数包括光衰,漏电,反压,抗静电,I-V 曲线等等,这些数据一般 通过老化进行测试.
1GB/T 156 0190 2607-1992硅-兰宝石外延片
2GB/T 14139-2019硅外延片
3GB/T 24575-2009硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
4GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
5GB/T 30654-2014Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
6GB/T 30655-2014氮化物LED外延片内量子效率测试方法
7GB/T 30854-2014LED发光用氮化镓基外延片
8GB/T 35308-2017太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片
9GB/T 35310-2017200mm硅外延片
10GB/T 37053-2018氮化镓外延片及衬底片通用规范
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