一、洁净度
洁净室以及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下表规定:
N:空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为至小允许递增量。
注:(0.1:常数,其量纲为μm)
二、噪音控制
洁净室内的空态噪声级,非单向流洁净室不应大于60dB(A),单向流/混合流洁净室不应大于65dB(A)。净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施,除事故排风外,洁净室内的排风系统应进行减噪设计。
三、风量、换气次数、新风量等基本参数
新风量应满足补偿排风量和室内正压值所需要的新鲜空气量之和,需要保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40立方米。
洁净室的送风量应取下列三项中的zui大值:
(1)满足空气洁净度要求的送风量。
(2)根据热、湿负荷计算确定的送风量。
(3)按照上面新风量的要求向洁净室内供给的新风量。
为保证空气洁净度等级的送风量,应按照下表有关数据进行风量计算:
序号 | 检测标准 | 检测对象 | 检测项目 | |
---|---|---|---|---|
1 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 压差 (静压差) | |
2 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 密闭性(严密性、隔离检漏、诱导泄露) | |
3 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 悬浮粒子数(洁净度、空气洁净度等级、尘埃粒子浓度、微粒计数浓度) | |
4 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 风速(截面平均风速、气流检测) | |
5 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 风量(换气次数、气流检测)) | |
6 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 高效 过滤器穿透率 | |
7 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 压差 | |
8 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 尘埃粒子计数 | |
9 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净室(区) | 风速 | |
10 | 洁净厂房设计规范(附条文说明) | 洁净厂房(室) | 微粒计数浓度 |
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