1范围
本道则适用于各种类型的扫描电子显微镜和x射线能谱仪。
2定义
2.1二次电子
secondary electron
在入射电子的作用下,从固体样品中出射的,能量小于50eV的电子,通常以SE表示。
2.2背散射电子
backscattered electron
被固体样品中的原子反射回来的入射电子,包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子,通
常以BSE表示。它又称为反射电子(Reflected Electron),以RE表示。其中弹性背散射电子完
全改变了入射电子的运动方向,但基本上没有改变入射电子的能量:而非弹性背散射电子不仅
改变了入射电子的运动方向,在不同程度上还损失了部分能量。
2.3放大倍数
ma gnificntion
扫描电镜的放大信数是指其图像的线性放大倍数,以M表示。如果样品上长度为L直线
上的信息,在显像管上成像在Ln长度上,则放大倍数为
M-2
扫描电镜的有效放大倍数与电子束直径有关。如果样晶上电子束编址的单位区城,即像
素,小于电子束直径,每次取样传送的信息包含一个以上的像素,前后传送的信息互相部分重
叠。这样的放大倍数称为虚伪放大倍数(Hollow Magnification)。
2.4分辨本领
resolving power
扫描电镜的分排本领通常以二次电子图像分辨率来表示,它是在特定的情况下拍摄特定
样晶(如碳噴金)的二次电子图像,在照片上测量能清楚分开的两个物点之间的*小距离,除以
放大倍数,作为扫措电镜的分辨率,以r表示。
x射线能谱仪的分辨本领,是对能量相近的两个峰的辨别能力,通常以5. 89keV的
MnKa峰的半高宽来表示,单位为电子伏特eV.
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