XPS（X射线光电子能谱分析）分析方法包括：
1、元素的定性分析，可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置的鉴定除H、He以外的所有元素。2、元素的定量分析，根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。
3、固体表面分析，包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。
XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。以光电子的动能/束缚能为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。
化学状态分析简称状态分析:对环境中化学物质的原子状态和分子的结构、元索和各种化 学物种存在的形式进行鉴别与分析的统称。化学物质在不同 环境条件、不同介质中常以各种化学状态存在，并不断变化二 测定化学物种需用现代物理的分析方法，如X射线衍射、电 子和离子微探针、傅里叶变换红外光谱、紫外光谱、旋光光id , 扫描电镜、色谱一质谱联月、核磁共振、顺磁共振、穆斯鲍尔谱 等
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